Ｘ線厚さ計

概要

軟Ｘ線（軟エックス線）を利用した厚さ計（膜厚計）です。シート・板状の物体の厚さ・密度（坪量）を非接触（軟X線）で測定します。

直接厚みを測るのではなく、基準物質との比較によって、厚さ・密度（坪量）を算出します。

一般に、シートの幅方向の厚み分布を測定するのに、スキャナで検出系を搬送して測定します。非接触で厚さを計測する手段としてはレーザー

変位計が一般的ですが、レーザー変位計をスキャナに搭載すると、搬送時にレーザー変位計の精度を遙かに下回る精度でしか搬送できないので

、結果的に高精度の測定は困難です。

一方、X線厚さ計のように透過減衰によって厚さを見積もる方式では、空気層－サンプル－空気層と透過する間の減衰を測定するのですが、サン

プルによる減衰が空気より遙かに大きく、搬送の影響は空気層の厚み変化として現れるのみで、影響は軽微です。従って高精度で測定すること

ができるのです。

放射線取扱主任者・X線作業主任者の選任・管理区域の設定が不要（労働基準監督署への届出は必要です）

パスライン誤差が無視できます

元素依存性が大きい

検出部、Ｘ線源部がコンパクト・軽量で狭いラインにも設置可能

計測対象範囲（材質・厚さ）が広い

銅箔、アルミ箔、ステンレス箔

電池電極

セラミックス（シート、ウェハ）

ガラス繊維クロス

などの連続計測。